上海线光谱共焦传感器技术 马波斯 马波斯测量设备供应

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。上海线光谱共焦传感器技术

什么是光谱共焦？光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计，STIL传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像，从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪，该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上，然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。上海stil传感器测量速度光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎新老客户来电！

多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放，多个产品可同时测量，**节省测量时间，减少用工成本！低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量，图像畸变也很小，无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别，排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单。测量结果自动保存，可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索，数据追溯管理简单。检测报告及统计报告都可通过一键完成制作，无需数据传输及电脑输入等繁琐的过程，支持多种格式。

激光干涉位移传感器激光干涉仪：超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动，并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外，每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作，例如高真空，超高真空，低温或辐射恶劣的环境。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技。

光谱共焦位移传感器?外形尺寸测量?空气夹层测量?厚度(透明物体)测量?段差高度(非透明物体)测量?外形轮廓测量?表面型貌测量?表面粗糙度测量?表面微小划痕测量?三维测量?平面度测量优势??高分辨率，比较高可达纳米级??高精度，比较高可达16纳米??同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区??可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面??物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体??可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度非接触式测量，一体化设计，3D轮廓扫描，多功能数据处理适用于各种材料的精确测量。上海线光谱共焦传感器技术

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Irix?彩色共焦技术?适用于多种应用领域：汽车玻璃玻璃容器与包装工业电子工业（PCB）半导体工业（硅片）用于测量卷对卷、透明和非透明薄膜（例如EV电池盖）的应用3C行业电动汽车工业（电池）机器人学微观力学医学航空手表用于轮廓测量的倾斜角度高达±45°的光学元件用于缩小尺寸设备的缩小直径为4毫米、6毫米和8毫米的光学元件7“集成显示器，具有易于使用的实验室用图形界面2个同步通道，用于卷对卷应用中的非透明目标厚度测量同步测量与编码器精确轮廓重建。3个编码器输入（TTL和HTL型号）2个模拟输出（0÷10V）多达32个校准图以CSV格式保存数据上海线光谱共焦传感器技术